Recycling of Rejects.

Hersteller können mehr herausholen aus porösem Silizium

DECKER-Anla­gen­bau – ein Spe­zia­list für nass­che­mi­sche Ver­fah­ren – hat eine Anla­ge zur Sili­zi­um-Rei­ni­gung auf den Markt gebracht, mit der sich auch schwie­rig zu rei­ni­gen­des, porö­ses Sili­zi­um behan­deln lässt. Das gerei­nig­te Sili­zi­um eig­net sich anschlie­ßend zur Pro­duk­ti­on von hoch­leis­tungs­fä­hi­gen Solar­zel­len und kann ent­spre­chend ertrag­rei­cher ver­mark­tet wer­den.

Die Solar­bran­che muss der­zeit, trotz guter Lang­frist-Pro­gno­sen, eine Nied­rig­preis-Pha­se über­brü­cken. Ent­spre­chend hart wird kal­ku­liert. Unter­neh­men inves­tie­ren dar­um inten­siv in die Ent­wick­lung effi­zi­en­ter Ver­fah­ren für alle Schrit­te der Pro­zess­ket­te. Für die Sili­zi­um-Her­stel­ler bie­tet die Auf­wer­tung von ver­un­rei­nig­tem Sili­zi­um zu hoch­wer­ti­gem Solar-Sili­zi­um eine Mög­lich­keit, Erträ­ge zu stei­gern.

Sili­zi­um mit gerin­ge­rem Rein­heits­grad ent­steht bei der Her­stel­lung von hoch­rei­nem Sili­zi­um in den Rand­be­rei­chen des Kris­talls. Hier kommt es wäh­rend des Kris­tall­wachs­tums an den Rand­be­rei­chen zu Den­dri­ten­bil­dung, einer uner­wünsch­ten Stö­rung der Kris­tall-Struk­tur und ggf. Abla­ge­rung von Metal­len, Koh­len­stof­fen oder ande­ren Sub­stan­zen an die­ser zer­klüf­te­ten Ober­flä­che. Dies sind uner­wünsch­te Struk­tu­ren, die sowohl bei im Flui­di­zed Bed Reac­tor FBR, als auch im Sie­mens-Ver­fah­ren ent­ste­hen kön­nen. Bei­men­gun­gen von Metal­len füh­ren bekann­ter­ma­ßen zu einer gerin­ge­ren Mino­ri­täts­trä­ger-Lebens­dau­er, was den Wir­kungs­grad des Solar-Sili­zi­ums her­ab­setzt. Wei­te­re Ursa­chen für die Ver­un­rei­ni­gung von Sili­zi­um auf der Ober­flä­che sowie dicht dar­un­ter sind die schnel­le Dif­fu­si­on von Metall­ato­men wie Nickel oder Kup­fer in das Sili­zi­um bei Raum­tem­pe­ra­tur sowie Ver­un­rei­ni­gung durch Trans­port, Zer­klei­ne­rung, Lage­rung und Ver­pa­ckung.

Sol­cher­ma­ßen kon­ta­mi­nier­tes Mate­ri­al erzielt wegen der nied­ri­ge­ren Qua­li­tät gerin­ge­re Prei­se. Hoch­rei­nes Sili­zi­um hat einen Rein­heits­grad bezo­gen auf den Metall­ge­halt von 10 ppb(w) und Ladungs­trä­ger-Lebens­dau­ern von 10.000 Nano­se­kun­den. Die Ansprü­che an PV-Sili­zi­um sind nied­ri­ger, stei­gen aber kon­ti­nu­ier­lich.

Durch eine ent­spre­chen­de Rei­ni­gung lässt sich ver­un­rei­nig­tes Mate­ri­al auf­wer­ten. Ein höhe­rer Rein­heits­grad wirkt sich zum Bei­spiel auch för­der­lich auf die Leis­tung der CZ-Pul­ler aus. Die Rei­ni­gung von porö­sen Sili­zi­um-Bro­cken (Chunks) ist aber wegen der kom­pli­zier­ten pop­corn-ähn­li­chen Ober­flä­che des Mate­ri­als eine kom­ple­xe Auf­ga­be. Das Mate­ri­al weist Ris­se, Spal­ten und Sprün­ge auf, hat damit eine sehr gro­ße Ober­flä­che, die schwer mit Rei­ni­gungs­me­di­en zu errei­chen ist. Eben­so anspruchs­voll ist das Spü­len und Trock­nen von Mate­ria­li­en mit sol­chen zer­furch­ten Ober­flä­chen.

Ziel: Hoher Durchsatz bei niedrigen Kosten

Zur Sili­zi­um-Rei­ni­gung eig­nen sich nass­che­mi­sche Ver­fah­ren sowohl mit basi­schen als auch sau­ren Rei­ni­gungs­me­di­en oder kom­bi­nier­te Ver­fah­ren. Das zu rei­ni­gen­de Mate­ri­al wird dabei por­tio­niert, hori­zon­tal und ver­ti­kal in rotie­ren­den Kör­ben oder Trom­meln bewegt.

Gefor­dert ist ein voll­au­to­ma­ti­scher Pro­zess für das Sili­zi­um wäh­rend es das nass­che­mi­sche Rei­ni­gungs­ver­fah­ren durch­läuft. Aber wie wird sicher­ge­stellt, dass auch die Spal­ten und Ris­se wie erfor­der­lich gerei­nigt und gespült wer­den? Wie kann ein Trock­nungs­pro­zess aus­se­hen, der gleich­zei­tig einen hohen Mate­ri­al­durch­satz erlaubt und dies zu wett­be­werbs­fä­hi­gen Kos­ten?

Schnelle Reinigung von porösem Silizium bis in den ppbw-Bereich

DECKER löst die dar­ge­stell­ten Fra­gen mit der Ver­le­gung des Rei­ni­gungs­vor­gangs auf ein Fließ­band. Die Sili­zi­um-Bro­cken wer­den dazu gra­nu­liert, um auf die­se Wei­se Zugang zu den in Ris­sen und Spal­ten ver­bor­ge­nen Ober­flä­chen zu ermög­li­chen. Das jewei­li­ge Medi­um wird mit­tels Vaku­um durch ein abge­grenz­tes Feld auf dem Band, auf dem das Sili­zi­um liegt, gesaugt. Damit löst das Ver­fah­ren sys­tem­im­ma­nen­te Qua­li­täts- und Effi­zi­enz-Pro­ble­me des klas­si­schen Ver­fah­rens, da Ätz­vor­gän­ge im Inne­ren von Kör­ben län­ger dau­ern und unprä­zi­ser sind, als an deren aus­ge­brei­te­ten Ober­flä­chen. Die Kos­ten für Band­fil­ter hän­gen von ver­schie­de­nen Para­me­tern ab — Amor­ti­sa­ti­ons­zei­ten von rund einem Jahr sind unter bestimm­ten Rand­be­din­gun­gen rea­li­sier­bar.

Dies ist unter ver­schie­de­nen Aspek­ten bahn­bre­chend. Die Band­fil­ter-Vari­an­te wirkt sich posi­tiv auf vie­le Pro­zess­pa­ra­me­ter aus: Sie spart Kos­ten und Zeit. Ein­spa­run­gen an Ener­gie und Che­mi­ka­li­en wir­ken sich scho­nend auf die Umwelt aus. Wich­tigs­ter Fort­schritt ist jedoch, dass durch die Tech­no­lo­gie die Nut­zung im groß­tech­ni­schen Maß­stab erschlos­sen wur­de. Im ver­gan­ge­nen Jahr wur­de das Ver­fah­ren auf der Inter­so­lar mit dem Inno­va­tions Award aus­ge­zeich­net. Das gerei­nig­te Sili­zi­um hat einen Rein­heits­grad von 6N und bes­ser, je nach Bulk-Qua­li­tät.

Die Opti­mie­rung von Anla­gen zur Stei­ge­rung der Pro­duk­ti­on bei gleich­zei­ti­ger Reduk­ti­on der Kos­ten ist von gro­ßer Bedeu­tung für die Zukunft der Solar­un­ter­neh­men. Das Sili­zi­um-Gra­nu­lat-Ätz­sys­tem mit Band­fil­ter ermög­licht den Her­stel­lern nun die schnel­le und kos­ten­güns­ti­ge Auf­wer­tung von porö­sem ver­un­rei­nig­tem Sili­zi­um.